澳大利亚BluGlass与爱思强合作整合并评估RPCVD技术套标机

据外媒报道，澳大利亚BluGlass公司正在与德国的沉积设备制造商Aixtron （爱思强）合作，以评估BluGlass的RPCVD（远程等离子体化学气相沉积）技术。

BluGlass选择了Aixtron的系统，将RPCVD扩展到批量生产的能力，首次集成将在BluGlass的悉尼Silverwater工厂进行。据悉，BluGlass的RPCVD技术可实现III-V氮化物材料的低温沉积，从而有可能提高器件的性能。

BluGlass的总经理Giles Bourne表示，“我们非常高兴获得爱思强对我们这一重大扩展项目的支持”，“这是展示RPCVD批量生产可行性的重要一步”。

爱思强集团创新官Ken Teo博士说，“在爱思强，我们一直在努力将新技术引入我们的平台”，“我们希望探索RPCVD技术在氮化物层低温沉积方面的潜力，这可能为光电/电子设备开辟新的可能性；我们期待与BluGlass合作，整合RPCVD并评估该技术。”

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